盡管是可放置在桌面上的小巧緊湊型*1電子顯微鏡,仍可實現4.0 nm的分辨率
憑借特的高靈敏度二次電子、背散射電子檢測器、低真空檢測器(UVD*2),可在低加速/低真空下觀察時實現高的畫質
全新的用戶界面,無論用戶的熟練程度如何,都可實現高畫質和高處理能力
全新的定位功能“SEM MAP”,支持觀察時的視野搜索和樣品定位
*1 設置到桌面上時,請將機體與電源盒分離
*2 選項
日立(Hitachi)掃描電子顯微鏡FlexSEM 1000 II規格:
項目 |
內容 |
分辨率*3 |
4.0 nm(二次電子像、加速電壓:20 kV、高真空模式) |
加速電壓 |
0.3 kV~20 kV |
倍率 |
×6~×300,000 (照片倍率) |
低真空設置 |
6~100 Pa |
電子槍 |
預對中鎢燈絲電子槍 |
樣品臺 |
3軸馬達驅動樣品臺 |
大樣品尺寸 |
直徑80 mm(選配:直徑153mm) |
大樣品高度 |
40 mm |
尺寸 |
機體:450(寬度)×640(進深)×690(高度) mm |
選項 |
高度低真空檢測器(UVD2.0) 能量色散型X射線檢測器(EDS) |
軟件 |
Multi Zigzag(連續視野圖像導入功能) |
*PC、桌子、監控器由客戶準備
*3機體和電源盒連接時候
*4使用標準支架時